pecvd有哪几种设备?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/10/06 17:42:02
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按等离子体激发电源区分,有射频电源(RF-PECVD)、甚高频电源(VHF-PECVD)、电子回旋共振(ECR-PECVD)、线性微波(LM-PECVD)等.按电源偶合结构区分,有电容偶合(传统PECVD)、电感偶合(ICP-PECVD)、表面波偶合(ECR-PECVD)、同轴天线偶合(LM-PECVD)等.按样品安放结构区分,有管式PECVD和平板式PECVD等.
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