PECVD碎片的原因还有就是上料下料时应注意什么,PECVD的原理?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/08 09:18:14

PECVD碎片的原因还有就是上料下料时应注意什么,PECVD的原理?
PECVD碎片的原因
还有就是上料下料时应注意什么,PECVD的原理?

PECVD碎片的原因还有就是上料下料时应注意什么,PECVD的原理?
板式的不是生成碳化硅?
而管式的PECVD则是用氨气和硅烷生成氨化硅.

楼主问的可是光伏行业的,我就是在PECVD上,你说的是版式PECVD吧,对于版式来说上料,下料就是轻,柔,慢。注意在于人的心态。它的原理就是在高温下利用氨气和硅烷给硅片镀上一层膜!

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