等离子体溅射 什么是等离子体溅射?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/08/30 03:49:59
等离子体溅射 什么是等离子体溅射?
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等离子体溅射 什么是等离子体溅射?
用直流或射频的方法使稀有气体电离成等离子体,再通过偏置等方法轰击在需要溅射的靶上,使靶上的原子有足够的能力脱离原子间的力飞溅出来,最后落在需要镀的基板上
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用直流或射频的方法使稀有气体电离成等离子体,再通过偏置等方法轰击在需要溅射的靶上,使靶上的原子有足够的能力脱离原子间的力飞溅出来,最后落在需要镀的基板上