单晶炉漏料怎么处理?等径时籽晶断石英坩埚裂,漏料应该怎么处理?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/09/03 10:49:21
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单晶炉漏料怎么处理?
等径时籽晶断石英坩埚裂,漏料应该怎么处理?
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我不知道你们使用的是什么型号的单晶炉,大体的流程给你说一下:
①、 工序复位,由自动改为手动状态.
②、 关闭功率,关闭埚转.
③、 停止氩气供应,关上手动阀和主真空泵,保证冷却水的供应.
④、 快速下降坩埚使液面距离导流筒150mm.
⑤、 观察是否有大量水蒸气产生.
⑥、 在熔体结晶9分钟时,如有可能,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒100mm.
⑦、 停炉,充分冷却后拆炉.
那是温度没找好,泵的抽率太大
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