真空度最高能抽到多少
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/16 02:59:43
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要看用什么泵抽,目前使用机械泵做前级,罗茨泵做二级泵,扩散泵做三级.三个泵同时工作,可以抽到0.000001pa
不过现在真空领域有很多科技的进步,还有分子泵,冷凝泵的发明.
这是我找的一些资料
起动压强(Pa)
活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
涡轮分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10-1 1×105
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10-7 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10-2
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