作业帮请问你没们PECVD的操作步骤,和上面英文的意思
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/13 03:35:07
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PECVD方法区别于其它CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能.电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程,生成活性很高的各种化学基团,因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围,使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温实现.由于PECVD方法的主要应用领域是一些绝缘介质薄膜的低温沉积,因而PECVD技术中等离子体的产生也多借助于射频的方法.本实验室使用射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）,射频电源采用电容耦合方式,射频频率为27.12MHz.
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