硅片的制备硅片制备的具体流程
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/08/28 18:15:38
硅片的制备硅片制备的具体流程
硅片的制备
硅片制备的具体流程
硅片的制备硅片制备的具体流程
单晶硅的制备先是拉单晶,硅单晶棒有直拉法(CZ法)和区熔法两种
硅单晶棒制备好后再经过滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀、抛光,以及几何尺寸和表面质量检测等工序完成单晶硅片的生产
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单晶硅的制备先是拉单晶,硅单晶棒有直拉法(CZ法)和区熔法两种
硅单晶棒制备好后再经过滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀、抛光,以及几何尺寸和表面质量检测等工序完成单晶硅片的生产