6微米的移动,要求精度在纳米级的微米位移传感器有木有啊?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/05 18:54:53

6微米的移动,要求精度在纳米级的微米位移传感器有木有啊?
6微米的移动,要求精度在纳米级的微米位移传感器有木有啊?

6微米的移动,要求精度在纳米级的微米位移传感器有木有啊?
有a啊,NM-X-5A纳米定位台电容传感器提供了高于纳米级的分辨率,实现在6微米内的闭环控制.柔性导轨使运动平滑,运动范围可减小到5微米.