二氧化硅在集成电路中起什么作用
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/06 08:30:50
二氧化硅在集成电路中起什么作用
二氧化硅在集成电路中起什么作用
二氧化硅在集成电路中起什么作用
二氧化硅在集成电路制作过程中,可以阻止杂质扩散,这就提供了选择扩散的可能,例如在硅片上生成一层完整的二氧化硅后,再利用光刻的办法,有选择地刻蚀掉某些部分的二氧化硅,然后的高温下掺杂(例如掺硼)就使这没有二氧化硅保护的区域有硼扩散进去了,这里因此变成了P型区(通常是基区).另外二氧化硅是良好的绝缘体,在集成电路制作过程最后要将分散的二极管,三极管,电阻等元件用铝条连接起来,有些地方需要连,也有些地方不要连,不要连的地方,用二氧化硅盖起来就行了,而需要连的地方,也用光刻的办法,有选择地刻蚀掉,就可以由经过的铝条,连起来了.
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