京运通单晶炉要求氩气流量 .压力是多少?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/14 20:38:52
京运通单晶炉要求氩气流量 .压力是多少?
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京运通是用浮子流量计,那么晶体生长氩气流量一般推荐用30slpm,压力为>4.5kg/c㎡
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计算气体流量,只知道管径和进气压力,计算最大流量
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