作直流磁控溅射铜靶时,无法起辉.作直流磁控溅射铜靶时,无法起辉,而且调节溅射电压时,电压不变,电流却急剧增大,请问是有什么原因引起?该如何解决?(氩气调节至400sccm)

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/15 03:41:46

作直流磁控溅射铜靶时,无法起辉.作直流磁控溅射铜靶时,无法起辉,而且调节溅射电压时,电压不变,电流却急剧增大,请问是有什么原因引起?该如何解决?(氩气调节至400sccm)
作直流磁控溅射铜靶时,无法起辉.
作直流磁控溅射铜靶时,无法起辉,而且调节溅射电压时,电压不变,电流却急剧增大,请问是有什么原因引起?该如何解决?(氩气调节至400sccm)

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电流急剧增大,说明你的靶与地之间短路了,关掉机器,把设备的溅射靶卸下来后,靶附近的零件仔细清洗一下问题就解决了.