半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/15 03:32:23
半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?
半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?
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主要是用真空规,一般前级真空一个,本底和工艺监控各一个,都选的是进口的真空计,皮拉尼、热电离规、电容薄膜规,品牌主要为瑞士Inficon或美国MKS
半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?
双法兰毛细管安装位置,现场有个真空设备,需要安装双法兰毛细管液位变送器,把变送器安装到负压侧的位置可以吗,对测量是否有影响,以前甲方定的不是负压表,真空设备是-90KPa的,变送器的最
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