半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/15 03:32:23

半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?
半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?

半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?
主要是用真空规,一般前级真空一个,本底和工艺监控各一个,都选的是进口的真空计,皮拉尼、热电离规、电容薄膜规,品牌主要为瑞士Inficon或美国MKS