N型单晶硅制备过程中的电阻控制,尤其是高阻的电阻控制,
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/09/03 14:18:52
N型单晶硅制备过程中的电阻控制,尤其是高阻的电阻控制,
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N型单晶硅制备过程中的电阻控制,尤其是高阻的电阻控制,
由于N型单晶大多是掺磷的,但是磷具有很强的挥发性,所以电阻很不好控制.
目前国内大多采用引径前复测电阻的方式确保头部高阻部分的准确,对于尾部电阻的控制,这要看合同的要求,按照N型头尾电阻之比,既然总工能接这样的合同,一般情况下,一次引放,整根拉直完成的话,基本能符合要求.如果运行时间长,不能成晶就要复测电阻.
总之一句话,多测几次,如果是实验拉直,不妨在固定的阶段和时间点测电阻,就可以凭经验把握电阻率的变化了.
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